dTechnology），1999年秋季。亚历克西斯·C.马德里加尔（AlexisC.Madrigal），《最高机密：关于美国中央情报局冷战间谍卫星
简报》（TOPSECRET:YourBriefingontheCIA'sCold-WarSpySatellite，“BigBird”），《大西洋》（Atlantic），2011年12月29日。马克，《光学光刻工具供应商里程碑》（MilestonesinOpticalLithographyToolSuppliers），透镜制造商是德国卡尔·蔡司（CarlZeiss）和日本尼康（Nikon），尽管美国也有
些专业透镜制造商。珀金埃尔默公司（PerkinElmer）是康涅狄格州诺沃克家小型制造商，曾在第二次世界大战期间为美国军方制造炸弹瞄准器，并为冷战时期卫星和间谍飞机制造透镜。该公司意识到这项技术可以用于半导体光刻，并开发
种芯片扫描式光刻机，该光刻机可以凭借近乎完美精度让光刻光源对准硅片，这点至关重要。这台机器像复印机样在晶圆上移动光线，将光刻胶覆盖晶圆逐曝光。珀金埃尔默公司扫描式光刻机可以制造出栅长接近1微米（百万分之米）芯片。
克雷格·艾迪生采访詹姆斯·E.加拉赫（JamesE.Gallagher），SEMI，2005年3月9日。克雷格·艾迪生采访阿瑟·W.扎菲罗普洛（ArthurW.Zafiropoulo），SEMI，2006年5月25日。GCA公司，《关于
们公司成员》（AboutOurCorporationMembers），《美国气象学会公报》（BulletinAmericanMeteorologicalSociety），1962年12月12日。克莱顿·琼斯，《计算机化激光快速制造微芯片电路》（ComputerizedLaserSwiftlyCarvesCircuitsforMicrochips）。20世纪70年代末，珀金埃尔默公司扫描式光刻机主导光刻市场，但到20世纪80年代，它被GCA公司取代。GCA公司由位前空军军官领导。他后来成为地球物理学家，名叫米尔特·格林伯格（MiltGreenberg），他是位雄心勃勃、固执、满嘴脏话天才。第二次世界大战后，格林伯格和位空军伙伴利用洛克菲勒兄弟种子资金成立GCA。作为名军事气象学家，格林伯格利用自己对大气层解和与空军联系，成为名国防承包商，生产高空气球等装备，用于测量和拍摄苏
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