雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当初预料结果致,如无意外,方案可行。”
身后传来阵激动欢呼声,不过很快压下来,众人纷纷看向没开口盛明安,他才是实验室主心骨,他点头才算实验成功!
但不可避免,他们此刻心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。
无他,因为眼前仿真建模是他们耗费三年、将近四年成果!
无数日夜数据优化、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量数据和磅礴公式计算,千多个日夜心血全数系在这刻!
:“谢谢教授。”
张群芳:“没什事挂。”
盛明安:“教授再见。”
通话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子。
***
盛明安盯着右手边光屏,那是光源优化仿真实验结果,结果表明优化后光源图形和收敛曲线与预料致,说明——
“方案可行。”
蓝河科技研发部,尘不染恒温实验室内,盛明安位于主位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕光刻机仿真建模。
组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统系列步骤曝光晶片。
euv光源系统现实工作,激光发射击中锡液滴这过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变成肉眼可观测。
仿真建模观测小时后,放大雕刻后晶片,宛如个个充满未来感城市。
杜颂吞咽口水,紧张问:“怎样?”
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