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32 光刻战争(4 / 6)

世界》(ManaginginaBorderlessWorld),《哈佛商业评论》(HarvardBusinessReview),1989年5-6月。根据彭博社数据。1992年,当安迪·格鲁夫准备批准英特尔在EUV光刻技术研究方面笔重大投资时,人们很容易理解为什即使是从冷战军事工业综合体中崛起芯片行业,也得出政治不再重要结论。这位管理大师承诺,在未来“无国界世界”,全球商业格局将由利润而非权力来塑造。经济学家在谈论加速全球化,首席执行官和政治家们都接受这些新时尚观点。与此同时,英特尔再次占据半导体业务顶端。英特尔曾抵挡住其日本竞争对手,当时几乎垄断个人电脑芯片全球市场。自1986年以来,英特尔每年都赢利。为什它还要担心政治?

采访约翰·泰勒,2021年。1996年,英特尔与美国能源部运营几个实验室建立合作伙伴关系,这些实验室在光学和其他领域拥有使EUV工作所需专业知识。位行业内人士回忆道,英特尔召集六家芯片制造商加入该联盟,但英特尔支付95%费用。英特尔知道劳伦斯·利弗莫尔(LawrenceLivermore)和桑迪亚(Sandia)国家实验室研究人员拥有制造EUV原型系统专业知识,但其重点是科学,而不是大规模生产。

查克·格温和斯蒂凡·乌尔姆(StefanWurm),《EUVLLC:历史视角》(EUVLLC:AHistoricalPerspective),载于巴克希(Bakshi)编辑《EUV光刻》(EUVLithography),国际光学工程学会,2008年。采访约翰·卡拉瑟斯和约翰·泰勒,2021年。卡拉瑟斯解释道,英特尔目标是“制造东西,而不仅仅是测量”,因此该公司开始寻找家能够商业化和大规模生产EUV工具公司。结果,没有家美国公司能做到这点。GCA不再存在。美国最大光刻机公司是硅谷集团,但该公司在技术上落后。美国z.府对20世纪80年代贸易摩擦仍然很敏感,不希望日本尼康和佳能与美国国家实验室合作,尽管尼康认为EUV技术不会奏效。对于美国来说,阿斯麦是仅存可选光刻机公司。

采访肯尼斯·弗拉姆和理查德·范·阿塔,2021年。大卫·拉默斯,《美国在EUV上同意阿斯麦》(U.S.GivesOktoASMLonEUV),《电子工程专辑》英文版,1999年2月24日。该媒体报道援引阿斯麦与美国z.府达成项协议,根据该协议,阿斯麦承诺在美国生产其部分机器。无法从美国*员或阿斯麦那验证这种承诺存在,尽管多名美国前*员表示,该协议听起来似乎合理,但它可能是非正式。现在,阿斯麦在康涅狄格州家制造厂生产EUV工具部分,因此,如果事实上阿斯麦做出过这样承诺,那阿斯麦看起来是在遵守协议。在采访对象中,没有人认为外交政策考虑对这决定至关重要。许多人表示,他们不记得对这个话题任何讨论。让外国

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