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39 EUV光刻机(6 / 6)

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。芯片中没有运动部件,除非你算上芯片内部运动电子。但生产先进半导体依赖于些迄今为止最复杂机器。阿斯麦EUV光刻机是历史上最昂贵大规模生产机器,其复杂程度非常高。如果没有阿斯麦工作人员充分培训,其他公司就不可能使用阿斯麦EUV光刻机,阿斯麦工作人员在设备整个使用寿命期间都会留在现场。每个EUV光刻机侧面都有个阿斯麦徽标。但阿斯麦欣然承认,阿斯麦专长是能够协调个由光学专家、软件设计师、激光公司和许多其他人组成网络,这些人能力是实现EUV光刻机梦想所必需

《通快通过激光交易整合EUV光刻供应链》(TrumpfConsolidatesEUVLithographySupplyChainwithAccessLaserDeal),2017年10月4日,https://optics.org/news/8/10/6。正如格鲁夫在生命最后几年那样,人们很容易对制造业离岸外包感到惋惜。荷兰公司阿斯麦将美国国家实验室率先开发项技术商业化,该技术主要由英特尔提供资金。如果人们知道光刻或EUV光刻技术历史,这无疑会激怒美国经济民族主义者。但阿斯麦EUV光刻工具并不是真正荷兰式工具,尽管它们主要在荷兰组装,其关键部件来自加利福尼亚州西盟,以及德国蔡司和通快,甚至这些德国公司也依赖美国生产关键设备。问题是,与其说个国家能够对这些神奇工具感到自豪,不如说它们是许多国家产物。个有几十万个零件工具有很多“父亲”。

格鲁夫问过约翰·卡拉瑟斯个问题:“它能行吗?”然后,格鲁夫将他笔2亿美元投资于EUV光刻机。经过30年时间、累积数百亿美元投资、系列技术创新,以及世界上最复杂供应链建立,到2015年左右,阿斯麦EUV光刻机终于准备好部署到世界上最先进芯片制造厂。

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